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橢偏儀專用光譜儀

解決方案1. 雙光譜儀系統:寬廣全光譜(紫外至近紅外光)解決方案

客戶可選擇兩台光譜儀,量測波段分別為180-1100 nm和950-1700 nm,再搭配OtO客制化之雙光譜儀系統,即可輕鬆擁有180-1700 nm的波段範圍和高光學分辨率,突破單一光譜儀量測的限制,適合需紫外至近紅外波段範圍的量測應用,如:橢偏儀。

解決方案2. 消雜散光演算法

OtO開發的「消雜散光演算法」,適用於低穿透率、低反射率、高吸收度、量測光源偏弱、曝光時間極短的量測情境,經演算法校正後雜散光可降至0.01%。

消雜散光演算法對穿透率量測的貢獻
穿透率標準值 雜散光扣除前測量值 雜散光扣除前測量值
雜散光0.12% 雜散光0.05% 雜散光0.01%
90.00% 90.01% 90.00% 90.00%
10.00% 10.11% 10.04% 10.01%
1.00% 1.12% 1.05% 1.01%
0.10% 0.22% 0.15% 0.11%

推薦機種

應用 可搭配的光譜儀1
180~1100nm
可搭配的光譜儀2
900~1700nm
180~1700nm全波段量測 SE2020
SE2060
SE2090
SW2520
SW2530
SW2540
提高分辨率 任一台光譜儀 任一台光譜儀
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